<晶圓氮?dú)夤?FAB工廠氮?dú)夤竦臐穸瓤刂凭?/h1>

高精度傳感器與控制系統(tǒng)

濕度傳感器：氮?dú)夤駜?nèi)部配備高精度的濕度傳感器，能夠?qū)崟r監(jiān)測柜內(nèi)的濕度水平，監(jiān)測誤差控制在±3% RH以內(nèi)。

微電腦智能控制系統(tǒng)：通過微電腦系統(tǒng)自動感應(yīng)濕度變化，并根據(jù)設(shè)定值自動調(diào)節(jié)氮?dú)獾某淙牒屯Ｖ埂．?dāng)濕度超過設(shè)定值時，系統(tǒng)會自動打開氮?dú)夤?yīng)；當(dāng)濕度達(dá)到設(shè)定值時，自動停止氮?dú)夤?yīng)。

動態(tài)調(diào)節(jié)機(jī)制

快速恢復(fù)功能：開門后15分鐘內(nèi)，氮?dú)夤衲軌蚩焖倩謴?fù)設(shè)定濕度（如10% RH以下），確保柜內(nèi)環(huán)境的穩(wěn)定性。

氮?dú)饬髁颗c溫濕度聯(lián)動控制：系統(tǒng)支持氮?dú)饬髁颗c溫濕度的聯(lián)動控制，避免過度充氮，同時確保濕度的精確控制。

氮?dú)庾⑷肱c置換

高純度氮?dú)猓菏褂眉兌取?9.99%的氮?dú)猓_保柜內(nèi)濕度水分含量通常≤15ppmv。

多點(diǎn)供氣系統(tǒng)：通過多點(diǎn)供氣，確保氮?dú)庠诠駜?nèi)均勻分布，避免死角，進(jìn)一步提高濕度控制的精度。

輔助除濕裝置

干燥劑與除濕裝置：部分高端氮?dú)夤駜?nèi)裝有除濕裝置，如硅膠、分子篩等吸附材料，輔助吸收柜體內(nèi)部殘余水分。

智能調(diào)節(jié)與報警功能

濕度超標(biāo)報警：當(dāng)柜內(nèi)濕度超出設(shè)定范圍時，報警系統(tǒng)會及時發(fā)出警報，提醒相關(guān)人員及時處理。

自動調(diào)節(jié)系統(tǒng)：根據(jù)濕度傳感器的信號，自動調(diào)節(jié)系統(tǒng)可以調(diào)整氮?dú)膺M(jìn)入柜體的流量，以保持柜內(nèi)濕度的穩(wěn)定。

柜體設(shè)計與密封性

加強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計：柜體采用加強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保承重性能好，內(nèi)部無氮?dú)馑澜牵瑫r保證密封性，防止外界空氣和污染物進(jìn)入。

防靜電設(shè)計：氮?dú)夤窬邆淞己玫姆漓o電設(shè)計，避免靜電對晶圓造成損害。

溫濕度獨(dú)立顯示與記憶功能

溫濕度獨(dú)立顯示：溫濕度傳感器采用原裝進(jìn)口品牌，溫濕度獨(dú)立顯示，使用壽命長，濕度設(shè)定具有記憶功能，斷電后無需重新設(shè)定。

通過以上技術(shù)手段，晶圓FAB工廠氮?dú)夤衲軌驅(qū)崿F(xiàn)高精度的濕度控制，確保晶圓等敏感元件在存儲過程中不受潮、不氧化，從而保障其性能和壽命。