<氮?dú)夤?存放晶圓wafer專(zhuān)用不銹鋼氮?dú)夤?/h1>

三清儀器 SKN-1436F 晶圓專(zhuān)用氮?dú)夤瘢喊雽?dǎo)體存儲(chǔ)的 "分子級(jí)防護(hù)艙"

產(chǎn)品定位與核心價(jià)值

核心功能與技術(shù)特點(diǎn)

智能氮?dú)夤芾硐到y(tǒng)

全自動(dòng)節(jié)氮模式：內(nèi)置程控感應(yīng)系統(tǒng)，僅在濕度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)充氮，達(dá)設(shè)定值后立即停止，比傳統(tǒng)直充方式節(jié)約 80% 氮?dú)?

多點(diǎn)均勻供氣：SMC 高精度節(jié)氮模組 + 多點(diǎn)分散式進(jìn)氣，確保柜內(nèi)無(wú)氮?dú)馑澜牵鯕夥植季鶆?

智能流量調(diào)節(jié)：支持連續(xù) / 間歇 / 按需三種充氮模式，適應(yīng)不同存儲(chǔ)需求

氮?dú)饽缓熂夹g(shù)：開(kāi)門(mén)瞬間啟動(dòng)高速氮?dú)鈬娚洌乐雇獠靠諝馇秩耄P(guān)門(mén)后自動(dòng)切換至低流量維持模式

精密環(huán)境控制系統(tǒng)

濕度精確控制：采用進(jìn)口高精度濕度傳感器，控制精度達(dá) ±3% RH

氧含量監(jiān)控：可選配高精度氧傳感器，實(shí)時(shí)顯示并控制氧含量在 ≤100ppm(高端工藝可選≤20ppm)

溫度顯示：實(shí)時(shí)顯示柜內(nèi)溫度 (精度 ±1℃)，雖不控溫但可監(jiān)控環(huán)境穩(wěn)定性

數(shù)據(jù)記錄：支持溫濕度 / 氧含量歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與導(dǎo)出，滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)追溯性要求

安全與可靠性設(shè)計(jì)

多重密封：門(mén)框采用雙層硅膠密封，確保氣密性，減少氮?dú)庑孤?

防靜電處理：柜體表面采用永久性防靜電噴塑 (電阻 10?~10?Ω)，防止靜電對(duì)晶圓損傷

開(kāi)門(mén)安全聯(lián)鎖：柜門(mén)開(kāi)啟時(shí)自動(dòng)暫停充氮，防止高濃度氮?dú)庖绯?

報(bào)警系統(tǒng)：濕度 / 氧含量超標(biāo)、門(mén)未關(guān)緊等異常情況聲光報(bào)警，確保存儲(chǔ)安全

斷電保護(hù)：突發(fā)斷電時(shí)維持柜內(nèi)惰性環(huán)境，來(lái)電自動(dòng)恢復(fù)工作

為什么選擇 SKN-1436F?

存儲(chǔ)密度與效率優(yōu)勢(shì)

1436L 超大容量，一次可存12 盒 12 寸晶圓(約 156 片)，減少存儲(chǔ)設(shè)備數(shù)量

層板高度可調(diào)，兼容不同尺寸晶圓載具(8 寸 / 12 寸 Cassette)

六開(kāi)門(mén)設(shè)計(jì)，分區(qū)存取，提高操作便利性和效率

成本效益顯著

智能節(jié)氮系統(tǒng)使一瓶 40L 氮?dú)饪墒褂?-5 天(每天開(kāi)門(mén) 3-5 次)，大幅降低運(yùn)行成本

高精度環(huán)境控制，降低晶圓報(bào)廢率，保護(hù)昂貴的半導(dǎo)體材料

設(shè)備使用壽命長(zhǎng)，維護(hù)簡(jiǎn)單，年維護(hù)成本 < 5%設(shè)備原值

專(zhuān)業(yè)定制與服務(wù)

可選 SUS304 不銹鋼材質(zhì)，潔凈度更高，適合無(wú)塵室直接使用

提供 SECS/GEM 接口，無(wú)縫集成到半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化管理系統(tǒng)

專(zhuān)業(yè)工程師團(tuán)隊(duì)提供安裝調(diào)試、培訓(xùn)及 24 小時(shí)技術(shù)支持

整機(jī)提供二年質(zhì)保，關(guān)鍵部件 (如傳感器) 質(zhì)保伍年

總結(jié)

SKN-1436F 晶圓專(zhuān)用氮?dú)夤袷前雽?dǎo)體微電子行業(yè)的理想存儲(chǔ)解決方案，通過(guò)提供穩(wěn)定的低氧低濕環(huán)境，有效保護(hù)晶圓免受氧化和污染威脅，是高端芯片制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備。其智能化控制系統(tǒng)和出色的節(jié)氮性能，在保障存儲(chǔ)安全的同時(shí)，顯著降低了運(yùn)行成本，為半導(dǎo)體企業(yè)提供了卓越的投資回報(bào)。