<氮?dú)夤?SKN系列不銹鋼氮?dú)夤穹暇A芯片存放標(biāo)準(zhǔn)

三清儀器氮?dú)馀c晶圓芯片存放氮?dú)夤駱?biāo)準(zhǔn)符合性分析

氮?dú)庖?guī)格與控制能力

推薦氮?dú)饧兌龋好鞔_要求晶圓芯片存放使用99.99%（4N）及以上純度氮?dú)猓叨藨?yīng)用可選擇 99.999%（5N）高純氮?dú)?

壓力控制：推薦進(jìn)氣壓力 0.2-0.4MPa，需配合減壓閥使用，避免浪費(fèi)

智能控制系統(tǒng)：通過溫濕度 / 氧含量傳感器實(shí)時監(jiān)控，自動調(diào)節(jié)氮?dú)夤?yīng)，可實(shí)現(xiàn)：

濕度控制范圍：1%-60% RH（可精確調(diào)節(jié)）

氧含量控制：最低可達(dá) 20 PPM（適用于 5N 氮?dú)猓?

節(jié)氮功能：達(dá)到設(shè)定值自動切斷氮?dú)夤?yīng)，降低成本

氮?dú)夤癞a(chǎn)品符合性

材質(zhì)與潔凈度：采用 SUS304 雙鏡面不銹鋼，不產(chǎn)塵，符合 Class 100 潔凈等級要求，適合晶圓存儲

標(biāo)準(zhǔn)適配：符合 J-STD-033B 濕敏元件 (MSD) 儲存規(guī)范，滿足 GB/T 14264-2009 半導(dǎo)體材料術(shù)語、GB/T 25915.1-2010 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)

應(yīng)用場景覆蓋：

帶包裝晶圓：可穩(wěn)定控制在 25% RH±3% RH

裸片晶圓：可控制在 5% RH 以下超低濕度環(huán)境

12 寸 / 8 寸晶圓盒：支持定制化存儲容量（12 盒 / 20 盒等）

使用建議與注意事項(xiàng)

氮?dú)庠催x擇：務(wù)必使用符合純度要求的工業(yè)氮?dú)猓?N/5N），避免使用低純度氮?dú)庥绊懘鎯πЧ?

壓力調(diào)節(jié)：嚴(yán)格按照 0.2-0.4MPa 設(shè)置進(jìn)氣壓力，安裝減壓閥確保穩(wěn)定

定期維護(hù)：定期校準(zhǔn)傳感器，檢查電磁閥與密封性能，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行