三清儀器 8 寸晶圓盒專用氮?dú)夤?SKN-1436F
產(chǎn)品定位與核心功能
SKN-1436F是三清儀器 (SOODKING) 專為8 寸晶圓盒設(shè)計的智能氮?dú)獗Ｗo(hù)柜，通過高純度氮?dú)庵脫Q與精密環(huán)境控制，為晶圓提供低氧 (≤1000ppm)、低濕 (1-10% RH)、無塵的超凈存儲環(huán)境，防止晶圓氧化、受潮和污染，延長存儲周期 3-5 倍。
技術(shù)原理與核心優(yōu)勢
三重防護(hù)系統(tǒng)
氮?dú)庵脫Q系統(tǒng)：
高純度氮?dú)?(≥99.99%) 持續(xù)置換柜內(nèi)空氣，將氧含量降至 ≤1000ppm
微電腦控制氮?dú)饬髁浚耖T開啟后5 分鐘內(nèi)恢復(fù)設(shè)定氧濃度
濕度控制系統(tǒng)：
采用SMC 節(jié)氮模組與多點(diǎn)均勻供氣技術(shù)
可精確控制濕度低至1%RH, 濕度波動控制在 ±2% RH內(nèi)
相比傳統(tǒng)干燥方式，防潮效果提升 5 倍，且不損傷晶圓
潔凈防護(hù)系統(tǒng)：
內(nèi)部潔凈度可達(dá)Class 1000
防靜電設(shè)計 (電阻值 10?~10?Ω), 防止靜電對晶圓的損傷
柜門采用硅膠密封條，確保優(yōu)異氣密性，防止外部污染侵入
智能控制與節(jié)能特性
全自動感應(yīng)系統(tǒng)：當(dāng)濕度達(dá)標(biāo)時自動切斷氮?dú)猓瑯?biāo)時自動補(bǔ)充，比傳統(tǒng)氮?dú)夤?/a>節(jié)約70%氮?dú)庀?
雙區(qū)數(shù)碼顯示：紅色顯示溫度，綠色顯示濕度 / 氧含量，實(shí)時監(jiān)控
數(shù)據(jù)記錄功能(選配)：支持電腦連接，實(shí)時顯示溫濕度曲線并保存歷史數(shù)據(jù)
低能耗：平均功率僅 8W,24 小時運(yùn)行月耗電約5.8 度
8 寸晶圓存儲應(yīng)用詳解
存儲能力與布局
層間距可調(diào)：層板高度可根據(jù)實(shí)際需求調(diào)整，適應(yīng)不同類型 8 寸晶圓盒
標(biāo)準(zhǔn)配置：5 層結(jié)構(gòu)，每層可放置2-3 盒標(biāo)準(zhǔn) 8 寸晶圓盒
總?cè)萘浚阂淮慰纱鎯?2-15 盒8 寸晶圓 (約 156-195 片晶圓)
對 8 寸晶圓的關(guān)鍵保護(hù)作用
防氧化：徹底隔絕氧氣，防止晶圓表面氧化，確保光刻和蝕刻工藝良率
防潮解吸：濕度控制在1-10%RH, 防止晶圓吸潮變形和金屬層腐蝕
防塵保護(hù)：柜內(nèi)潔凈環(huán)境防止微粒污染，減少晶圓缺陷
防靜電：特殊防靜電涂層避免靜電放電 (ESD) 對晶圓電路的擊穿損害
使用特點(diǎn)與操作便捷性
一鍵啟動：連接電源和氮?dú)夂螅_機(jī)即可自動運(yùn)行
兩種控制模式：濕度控制或氧含量控制 (可選)
密碼保護(hù)：可設(shè)置管理密碼，防止誤操作
故障報警：溫濕度異常、氮?dú)鈮毫Σ蛔愕茸詣勇暪鈭缶?nbsp;
人性化設(shè)計：
高強(qiáng)度鋼化玻璃觀察窗，無需開門即可觀察內(nèi)部情況
底部配備導(dǎo)靜電萬向腳輪，便于移動和定位
平面加壓把手設(shè)計，提升密封性能
總結(jié)
SKN-1436F作為專業(yè) 8 寸晶圓盒氮?dú)獗Ｗo(hù)柜，通過低氧、低濕、無塵、防靜電的全方位保護(hù)，解決了 8 寸晶圓存儲過程中的氧化、受潮、污染三大核心問題，是半導(dǎo)體和顯示面板制造領(lǐng)域的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施。其智能化控制系統(tǒng)在提供頂級保護(hù)的同時，實(shí)現(xiàn)了70% 的氮?dú)夤?jié)約和超低能耗, 大幅降低使用成本。
