三清儀器智能節(jié)約型芯片氮?dú)夤?/a>核心優(yōu)勢(shì)是相較普通直沖型可節(jié)約 80% 氮?dú)庀模ㄟ^(guò)智能閉環(huán)控制按需供氣,適配半導(dǎo)體芯片、晶圓等易氧化物料的低濕低氧存儲(chǔ)需求。以下從核心能力、關(guān)鍵參數(shù)、結(jié)構(gòu)配置與應(yīng)用維護(hù)展開說(shuō)明。
核心節(jié)能與控制能力
智能節(jié)氮閉環(huán):內(nèi)置 SMC 節(jié)氮模組 + 微電腦控制系統(tǒng),采用 Honeywell 溫濕度 / 氧含量傳感器(濕度精度 ±3% RH),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并反饋數(shù)據(jù);達(dá)到設(shè)定濕度 / 氧含量時(shí)自動(dòng)斷氮,開門或超標(biāo)時(shí)自動(dòng)補(bǔ)氮,實(shí)現(xiàn)按需供氣,對(duì)比直沖型可省 80% 氮?dú)狻?
多點(diǎn)均勻供氣:避免單點(diǎn)直沖造成的氣流沖擊與氮?dú)馑澜牵Wo(hù)芯片 / 晶圓不受損,同時(shí)保證柜內(nèi)環(huán)境均勻。
高密封低耗設(shè)計(jì):加強(qiáng)型箱體結(jié)構(gòu),搭配優(yōu)質(zhì)密封條,降低泄漏損耗;支持?jǐn)嚯娮詣?dòng)開氮,防止物料氧化風(fēng)險(xiǎn)。
結(jié)構(gòu)與配置亮點(diǎn)
材質(zhì):普通款為 1.2mm 冷軋鋼板靜電噴塑;潔凈款為 SUS304 雙鏡面不銹鋼,不產(chǎn)塵,適配百級(jí) / 千級(jí)無(wú)塵室。
顯示與控制:高清雙區(qū)數(shù)碼顯示(溫 / 濕 / 氧含量),支持設(shè)定與校準(zhǔn);可選 USB/RS485 數(shù)據(jù)傳輸、聲光報(bào)警、斷電應(yīng)急供氮。
安全與擴(kuò)展:具備超濕 / 低氧報(bào)警、流量監(jiān)測(cè)、傳感器異常提示;可定制隔板、 cassette 適配、通信模塊等。
應(yīng)用場(chǎng)景與維護(hù)要點(diǎn)
核心應(yīng)用:半導(dǎo)體芯片、晶圓(Wafer)、IC、精密元器件等防氧化防潮存儲(chǔ),適配無(wú)塵車間與封裝 / 測(cè)試環(huán)節(jié)。
使用建議:氮?dú)鈮毫φ{(diào)至 0.2MPa,流量居中;40L 氣瓶在常規(guī)開門頻率下可用 4–5 天,遠(yuǎn)優(yōu)于直沖型。
維護(hù):定期檢查密封條與過(guò)濾器,清潔內(nèi)壁;傳感器定期校準(zhǔn),保證數(shù)據(jù)精準(zhǔn)與節(jié)氮效果。
| 產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數(shù)量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
| 進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點(diǎn)供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組 | |
