三清儀器SKCOL系列無塵潔凈高標(biāo)準(zhǔn)氮?dú)夂嫦?/a>核心優(yōu)勢(shì)在于百級(jí)潔凈 + 精準(zhǔn)控溫 + 低氧環(huán)境,適配半導(dǎo)體、電子、生物等精密烘烤場(chǎng)景,兼具高潔凈度、防氧化與強(qiáng)穩(wěn)定性。以下從關(guān)鍵細(xì)節(jié)、核心優(yōu)勢(shì)、技術(shù)參數(shù)、適用場(chǎng)景展開分析:
核心細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)
潔凈與密封系統(tǒng)
內(nèi)膽為 1.2–1.5mm SUS304 鏡面不銹鋼,滿焊滿燒打磨,自凈不產(chǎn)塵;外箱 1.2mm 冷軋鋼板雙面噴塑,配玻璃纖維耐高溫密封條,杜絕外部顆粒侵入。
標(biāo)配 H13 耐高溫 HEPA 過濾器(進(jìn)口芯材,耐溫 300℃),過濾 99.95%@0.3μm 顆粒,閉環(huán)內(nèi)循環(huán)持續(xù)自凈化,穩(wěn)定達(dá) Class 100 百級(jí)潔凈。
氮?dú)馀c控氧系統(tǒng)
充氮系統(tǒng)含減壓調(diào)節(jié)閥、流量計(jì)、氧含量監(jiān)測(cè)(20–500ppm 可選),置換空氣實(shí)現(xiàn)低氧 / 無氧環(huán)境,防高溫氧化、輔助降溫。
氮?dú)鈮毫ㄗh 3.5kg/cm2(50PSI),流量計(jì)全開,配合密封結(jié)構(gòu)減少耗氣量。
控溫與循環(huán)系統(tǒng)
不銹鋼覆套式加熱管 + 強(qiáng)制熱風(fēng)循環(huán),溫度均勻性 ±1–3℃(視型號(hào));PID 智能控溫,支持升溫斜率與程式化運(yùn)行。
100mm 高密度硅酸鋁纖維保溫,節(jié)能且外溫低,安全防燙。
安全與操作細(xì)節(jié)
箱門安全開關(guān)、超溫報(bào)警、過流保護(hù)、排氣口與泄壓設(shè)計(jì),降低風(fēng)險(xiǎn)。
可調(diào)節(jié)層板、測(cè)試孔、底部防漏設(shè)計(jì),適配不同工件與日常維護(hù)。
適用場(chǎng)景
半導(dǎo)體:晶圓烘烤、光刻膠預(yù)烘 / 堅(jiān)膜、BCB/PI/CPI 固化、IC 封裝干燥。
電子制造:LCD/LED 器件、光學(xué)鍍膜、傳感器的無塵低氧烘烤。
生物與醫(yī)療:高潔凈要求的樣品干燥、無菌烘干。
航空航天:精密組件的高溫潔凈穩(wěn)定性測(cè)試。
使用要點(diǎn)
開機(jī)前用蘇打水 + 無紡布擦拭內(nèi)膽、門框,循環(huán)穩(wěn)定后用粒子計(jì)數(shù)器驗(yàn)證潔凈度。
氮?dú)饨尤肭罢{(diào)至 3.5kg/cm2,流量計(jì)全開,關(guān)門扣緊后啟動(dòng)安全開關(guān)。
定期更換 HEPA 過濾器,監(jiān)測(cè)氧含量與密封狀態(tài),確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。
