三清儀器半導(dǎo)體用真空干燥箱，核心優(yōu)勢集中在低溫高效干燥、潔凈防污、智能精準(zhǔn)控溫控真空、安全適配與靈活配置，能匹配半導(dǎo)體器件、晶圓、封裝件等對干燥工藝的嚴(yán)苛要求。
核心性能優(yōu)勢
低溫高效干燥，保護(hù)熱敏材料
真空環(huán)境降低水分沸點(diǎn)，可在 50-80℃完成干燥，避免半導(dǎo)體光刻膠、芯片等熱敏件高溫?fù)p傷。
負(fù)壓加速水分蒸發(fā)，干燥效率較傳統(tǒng)熱風(fēng)干燥提升 30%-50%，且干燥更徹底，適合復(fù)雜結(jié)構(gòu)部件（如 MEMS 器件）。
潔凈防污，適配高潔凈需求
內(nèi)膽采用不銹鋼（可選 316L 鏡面拋光，Ra＜0.4μm），圓弧設(shè)計(jì)易清潔，減少金屬離子污染；搭配全密封結(jié)構(gòu)與硅橡膠門封圈，泄漏率低，隔絕外界塵埃、氧氣。
可配無油干式真空泵（如無油渦旋泵，極限真空達(dá) 1-2Pa），避免油霧污染潔凈室；支持 HEPA 過濾與氮?dú)馓畛洌瑵M足 Class 100 級潔凈要求。
智能精準(zhǔn)控制，穩(wěn)定可靠
微電腦控溫，溫度分辨率 0.1℃，波動度≤±0.5℃，PID 自整定 + 多段程序控溫，支持定時(shí)、超溫報(bào)警與參數(shù)記憶，減少人為誤差。
可選配真空度自動控制與流量計(jì)，可按工藝充入惰性氣體，適配易氧化半導(dǎo)體材料的干燥需求。
安全適配與靈活配置
真空 / 惰性氣體氛圍消除氧化與熱爆炸風(fēng)險(xiǎn)，適配半導(dǎo)體行業(yè)易燃易爆物料處理場景。
外箱冷軋鋼板靜電噴塑，不銹鋼活動隔板可靈活調(diào)整；真空泵型號可按箱體容積與抽氣速度需求選擇（如 2L/S、4L/S），適配不同產(chǎn)能需求。
半導(dǎo)體場景適配價(jià)值
半導(dǎo)體封裝：助力芯片、傳感器等精密器件干燥，降低不良率，提升封裝可靠性。
晶圓制造：滿足光刻膠、晶圓清洗后干燥需求，保障制程潔凈度與良率。
器件存儲前處理：對濕敏器件干燥，防止受潮，延長存儲壽命。
