三清儀器無塵室專用潔凈真空干燥箱，以 Class 100 級潔凈、無油真空、精準(zhǔn)控溫控真空、全密封防污染為核心，適配半導(dǎo)體、微電子等無塵室精密干燥場景，兼顧低溫高效與安全適配。
核心設(shè)計與性能亮點
百級潔凈，源頭防污
內(nèi)膽用 304/316L 不銹鋼滿焊滿磨，圓弧無死角易清潔，Ra＜0.4μm，杜絕自身產(chǎn)塵；搭配全密封硅橡膠門封圈，泄漏率低，隔絕外界污染。
標(biāo)配無油干式真空泵（如無油渦旋泵，極限真空 1-2Pa），避免油霧污染潔凈室，可充氮降至氧含量 40PPM 以下。
低溫高效，保護(hù)精密件
真空環(huán)境使水分沸點降低，50-80℃即可干燥，避免半導(dǎo)體光刻膠、晶圓等熱敏件高溫?fù)p傷，干燥效率較傳統(tǒng)熱風(fēng)提升 30%-50%，無殘留。
覆套式電熱器加熱，硅酸鋁保溫棉填充，溫度均勻性好，適配復(fù)雜結(jié)構(gòu)件（如 MEMS 器件）干燥需求。
智能精準(zhǔn)，穩(wěn)定可控
微電腦控溫，分辨率 0.1℃，波動≤±0.5℃，PID 自整定 + 多段程序控溫，支持 1-9999min 定時、超溫報警與參數(shù)記憶，減少人為誤差。
可選真空度自動控制與氮氣流量計，按工藝精準(zhǔn)充惰性氣體，適配易氧化材料干燥。
安全適配，靈活擴(kuò)展
真空 / 充氮氛圍消除氧化與熱爆炸風(fēng)險，適配易燃易爆物料處理；外箱冷軋鋼板靜電噴塑，不銹鋼活動隔板可靈活調(diào)整容積。
真空泵可按抽氣速度（2L/S、4L/S 等）與箱體容積選擇，支持接入無塵室排氣系統(tǒng)，適配不同產(chǎn)能與現(xiàn)場布局。
無塵室應(yīng)用適配價值
晶圓制造：滿足光刻膠涂覆后、清洗后干燥，保障制程潔凈度與良率。
半導(dǎo)體封裝：芯片、傳感器等干燥，降低封裝不良率，提升可靠性。
濕敏器件處理：存儲前干燥，防止受潮，延長器件壽命。
