三清儀器氮?dú)饪鞠?/a>(充氮烤箱)可根據(jù)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、控溫精度、氮?dú)饪刂品绞降染S度分類,不同類型的設(shè)備適配不同的工業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景,以下是詳細(xì)分類及對(duì)應(yīng)應(yīng)用介紹:

按結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)分類

臥式充氮烤箱

結(jié)構(gòu)特點(diǎn):腔體呈水平臥式,門體多為側(cè)開門或推拉門,內(nèi)部空間寬敞,可放置大型工裝治具或批量工件。密封性能優(yōu)異,箱門處采用多層耐高溫密封條,配合壓緊裝置,能有效防止氮?dú)庑孤┖屯饨缈諝鉂B入。

應(yīng)用領(lǐng)域:適用于大尺寸工件或批量產(chǎn)品的無氧烘烤,比如半導(dǎo)體晶圓載具的烘干、大型光學(xué)玻璃基板的熱處理、新能源電池極片的低溫烘干等。

立式充氮烤箱

結(jié)構(gòu)特點(diǎn):垂直立式結(jié)構(gòu),占地面積小,適合車間空間緊湊的場(chǎng)景。通常配置分層擱板,可分層放置小型工件,實(shí)現(xiàn)多層獨(dú)立烘烤。部分立式機(jī)型帶有獨(dú)立的氮?dú)膺M(jìn)氣和排氣接口,可精準(zhǔn)控制各層的氮?dú)鉂舛取?

應(yīng)用領(lǐng)域:多用于小型精密元器件的加工,例如電子芯片的固化、微型傳感器的干燥、貴金屬飾品的防氧化烘烤等。

隧道式充氮烤箱

結(jié)構(gòu)特點(diǎn):連續(xù)式輸送結(jié)構(gòu),配備輸送帶,工件可連續(xù)進(jìn)出腔體,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化流水線作業(yè)。氮?dú)獬掷m(xù)充入并維持腔體內(nèi)部的惰性環(huán)境,溫度和氮?dú)鉂舛确侄慰煽亍?

應(yīng)用領(lǐng)域:適用于大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)的行業(yè),如 3C 產(chǎn)品外殼的涂層固化、光伏電池片的退火處理、食品包裝材料的無菌烘干等。

按氮?dú)饪刂品绞椒诸?/strong>

流量控制型充氮烤箱

控制特點(diǎn):通過氣體流量計(jì)精準(zhǔn)調(diào)節(jié)氮?dú)獾倪M(jìn)氣流量,配合排氣口的開度控制,維持腔體內(nèi)的微正壓環(huán)境,防止外界空氣進(jìn)入。氮?dú)鉂舛瓤赏ㄟ^流量計(jì)讀數(shù)間接控制,成本相對(duì)較低。

應(yīng)用領(lǐng)域:適用于對(duì)氮?dú)鉂舛纫笾械鹊膱?chǎng)景,比如普通電子元件的防潮烘干、塑膠件的去應(yīng)力處理、五金件的防銹烘烤等。

濃度控制型充氮烤箱

控制特點(diǎn):內(nèi)置氧氣傳感器,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)腔體內(nèi)的氧氣濃度,并反饋給控制系統(tǒng)。當(dāng)氧氣濃度超過設(shè)定閾值時(shí),系統(tǒng)自動(dòng)加大氮?dú)膺M(jìn)氣量;達(dá)到目標(biāo)濃度時(shí),自動(dòng)減小進(jìn)氣量,實(shí)現(xiàn)氮?dú)鉂舛鹊拈]環(huán)精準(zhǔn)控制(通常可控制氧氣濃度≤100ppm)。

應(yīng)用領(lǐng)域:針對(duì)對(duì)無氧環(huán)境要求極高的精密加工,例如半導(dǎo)體硅片的退火、IC 芯片的封裝固化、航空航天精密合金零件的熱處理等。

按控溫精度分類

普通精度充氮烤箱

控溫參數(shù):溫度控制精度 ±1℃~±3℃,溫度均勻性 ±5℃以內(nèi),適用于對(duì)溫度要求不高的烘烤工藝。

應(yīng)用領(lǐng)域:如五金配件的烘干、塑膠制品的預(yù)熱定型、普通電子組件的防潮處理等。

高精度充氮烤箱

控溫參數(shù):采用 PID 智能溫控系統(tǒng),配合多點(diǎn)溫度傳感器,控溫精度可達(dá) ±0.1℃~±0.5℃,溫度均勻性≤±2℃。腔體內(nèi)部風(fēng)道經(jīng)過特殊設(shè)計(jì),熱風(fēng)循環(huán)更均勻,避免局部溫差對(duì)工件的影響。

應(yīng)用領(lǐng)域:用于高精密器件的加工,例如光學(xué)鏡頭的鍍膜固化、MEMS 微機(jī)電系統(tǒng)的封裝烘烤、醫(yī)療精密器械的無菌干燥等。

特殊類型:真空充氮烤箱

結(jié)構(gòu)與控制特點(diǎn):結(jié)合了真空技術(shù)和充氮保護(hù)技術(shù),先將腔體內(nèi)抽成真空,再充入氮?dú)猓勺畲蟪潭扰懦隹諝夂退郑獨(dú)饧兌雀摺?

應(yīng)用領(lǐng)域:適用于易氧化、易揮發(fā)材料的處理,比如鋰電池材料的干燥、有機(jī)高分子材料的熱固化、稀有金屬粉末的燒結(jié)等。