三清儀器高精度無塵潔凈烤箱：半導(dǎo)體微電子行業(yè)的核心工藝裝備
公司與產(chǎn)品概覽
蘇州三清儀器有限公司 (SOODKING) 專注于環(huán)境試驗與測試設(shè)備研發(fā)，其無塵潔凈烤箱系列產(chǎn)品專為半導(dǎo)體、顯示面板等高端電子行業(yè)打造，提供百級無塵、高精度控溫、無氧保護的理想工藝環(huán)境。
核心產(chǎn)品系列：
SK 系列：標準百級潔凈烘箱，單艙設(shè)計，適合單一工藝需求
MOL-2DS：雙倉獨立控溫百級無塵潔凈固化干燥箱，半導(dǎo)體行業(yè)旗艦產(chǎn)品
MOL-2DS 產(chǎn)品技術(shù)亮點
雙倉獨立控制系統(tǒng)
兩個艙室可獨立設(shè)置溫度、時間和氣氛參數(shù)，同時處理兩種不同工藝，提高設(shè)備利用率
單倉內(nèi)部分三層設(shè)計，每層承重 30kg，充分利用空間
操作界面集中于右側(cè)控制箱，便于監(jiān)控與參數(shù)調(diào)整
百級無塵潔凈環(huán)境
采用耐高溫 H.E.P.A 過濾器(過濾效率 99.997%)，確保 Class 100 潔凈度 (ISO 5 級)
空氣封閉自循環(huán)系統(tǒng)，經(jīng)多次過濾使 0.5μm 塵粒≤3.5 顆 / 升
全周氬焊密封 + 耐高溫硅膠迫緊，防止外部污染侵入
內(nèi)膽采用SUS304# 鏡面不銹鋼，減少微粒產(chǎn)生，易清潔
高精度溫度控制
控溫范圍：常溫～300℃，升溫速率 1~7℃/min (空爐)
溫度均勻度：±2% 或 ±3℃(根據(jù)工況)，確保產(chǎn)品一致性
溫度波動度：±0.5℃，滿足半導(dǎo)體工藝嚴苛要求
六點式溫度檢測系統(tǒng)實時監(jiān)控，PID 智能算法自動調(diào)節(jié)
升溫迅速：30 分鐘內(nèi)可達 250℃(空爐)，提高生產(chǎn)效率
靈活氣氛控制系統(tǒng)
可選配氮氣 / 惰性氣體入口，精確控制氧含量低至 ≤20ppm(無氧型)
配備高精度 N?流量計 (5~50L/min×2)，精確控制進氣量
智能排氣控制：根據(jù)工藝階段自動調(diào)節(jié)排氣頻率，節(jié)約氮氣消耗
微氧含量測試儀實時監(jiān)控，確保工藝穩(wěn)定性
全方位安全保障
獨立超溫保護裝置，溫度異常時立即切斷加熱
電磁式門扣附斷電防開裝置，確保操作安全
開門安全聯(lián)鎖：箱門開啟時加熱系統(tǒng)自動停止
設(shè)備外表面溫度控制：設(shè)定 250℃時，門板外側(cè)溫度≤室溫 + 15℃，防燙傷
總結(jié)
三清儀器 MOL-2DS 雙倉百級無塵潔凈固化干燥箱憑借雙倉獨立控制、百級無塵環(huán)境、高精度溫控和靈活氣氛管理四大核心優(yōu)勢，成為半導(dǎo)體微電子行業(yè)先進工藝的理想選擇。無論是晶圓制造、先進封裝還是新型半導(dǎo)體材料加工，這款設(shè)備都能提供穩(wěn)定可靠的工藝環(huán)境，助力客戶提升產(chǎn)品良率和性能。
