三清儀器百級無塵潔凈烘箱是半導(dǎo)體封裝等精密電子制造領(lǐng)域常用的設(shè)備,具有高潔凈度、精準(zhǔn)控溫等特點,以下是其詳細(xì)介紹:

產(chǎn)品特點

高潔凈度:采用獨特的內(nèi)外艙一體結(jié)構(gòu)和內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計,配備耐高溫超高效過濾器 H.E.P.A,過濾等級 H13,可實現(xiàn) 99.95%-99.99%@0.3um 的過濾效率,能有效過濾空氣中的微粒,確保烘箱內(nèi)部達到百級潔凈度。

控溫精準(zhǔn):使用進口溫度控制器,控溫精度 0.3 級,溫度分辨率 ±0.1℃,采用 PID 智能演算技術(shù),具有自動恒溫、超溫抑制、傳感器斷線警報等功能,溫度波動度可達 ±0.5℃。

溫場均勻:通過合理的風(fēng)道設(shè)計和熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),使烘箱內(nèi)溫度均勻性良好,如 SK 系列在 200℃時溫度均勻性為 ±3℃,300℃時為 ±4℃。

結(jié)構(gòu)合理:外箱體采用 1.2mm 厚度 3A 冷軋鋼板靜電雙面噴塑,內(nèi)膽采用 1.2mm-1.5mm 厚 SUS304# 鏡面潔凈不銹鋼板,防銹耐腐蝕,且易于清潔。絕熱保溫材料使用 100mm 厚 120K 高密度硅酸鋁纖維保溫材料,保溫效果好。

主要技術(shù)參數(shù)

型號及容積:有 SKCOL-2、SKCOL-3、SKCOL-4、SKCOL-5 等型號,內(nèi)容積分別為 180L、270L、480L、980L。

溫度范圍:一般型號的溫度范圍為 + 60℃-+300℃,可滿足多種半導(dǎo)體封裝工藝的溫度需求。

電源與功率:電源為 380V 50HZ,功率根據(jù)型號不同在 7.5KW-17KW 之間。

安全保護:具備輸入斷線檢測、上限溫度過熱報警、蜂鳴器報警、電機溫度保護開關(guān)、溫度保險絲、獨立防止溫度過升裝置等多種安全保護功能。

應(yīng)用領(lǐng)域

廣泛應(yīng)用于精密電子制造,半導(dǎo)體晶圓制造,大規(guī)模集成電路,生物制造、潔凈實驗室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域,尤其適用于半導(dǎo)體晶圓封裝中 PI/BCB 膠固化等需要無塵無氧環(huán)境的工藝。

外觀及配件

烘箱外觀采用符合國際審美觀的標(biāo)準(zhǔn)化整體式結(jié)構(gòu)箱體,簡潔大方。標(biāo)配隔板,如 SK 系列標(biāo)配 2 塊隔板,隔板承載為 30KG,還可根據(jù)需求選購程序溫控儀、觸摸屏、三色報警燈、計時器等配件。

型號
SKCOL-2
SKCOL-3
SKCOL-4
SKCOL-5
潔凈度
Class 100 百級無塵潔凈烘箱
電源
380V 50HZ
功率
7.5 KW
10.5 KW
11 KW
17 KW
工作環(huán)境溫度
5℃ - 35℃

溫度范圍
+60℃ - +300℃
溫度波動度
±0.5℃
溫度均勻性
200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
升溫時間
40分鐘以內(nèi) (室溫-300℃)

結(jié)

構(gòu)

外殼
防銹處理冷軋鋼板 內(nèi)外表面靜電噴塑處理
內(nèi)膽
SUS304 優(yōu)質(zhì)不銹鋼
隔熱材料
玻璃棉
加熱器
覆套式電熱器
進氣口
6 MM
出氣口
5 MM 自動開啟排風(fēng)閥門

溫度控

制系統(tǒng)

調(diào)節(jié)方式
PID 控制方式
運轉(zhuǎn)方式
定值運轉(zhuǎn) 程序運轉(zhuǎn)
設(shè)定范圍
0 ℃ - 300 ℃
設(shè)定方式
數(shù)字式
顯示方式
LED數(shù)字顯示 觸摸屏顯示
傳感元件
K型熱電偶
安全保護
輸入斷線檢測功能 上限溫度過熱報警 蜂鳴器報警 自行診斷
定時功能
0.1 - 999.9 H
安全裝置
電機溫度保護開關(guān) 溫度保險絲 獨立防止溫度過升裝置
隔板承載
30 KG
內(nèi)容積
180 L
270 L
480 L
980 L
重量
260 KG
320 KG
450 KG
730 KG
內(nèi)部尺寸 mm
W600 H600 D500
W600 H900 D500
W800 H1000 D600
W1400 H1000 D700
外部尺寸 mm
W950 H1510 D855
W950 H1810 D855
W1290 H1790 D955
W1950 H1790 D1055
配件
隔板
2 PCS
說明書
1 冊
選購件
程序溫控儀 觸摸屏 三色報警燈 計時器等