三清儀器百級無塵潔凈烘箱是半導(dǎo)體封裝等精密電子制造領(lǐng)域常用的設(shè)備,具有高潔凈度、精準(zhǔn)控溫等特點,以下是其詳細(xì)介紹:
產(chǎn)品特點
高潔凈度:采用獨特的內(nèi)外艙一體結(jié)構(gòu)和內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計,配備耐高溫超高效過濾器 H.E.P.A,過濾等級 H13,可實現(xiàn) 99.95%-99.99%@0.3um 的過濾效率,能有效過濾空氣中的微粒,確保烘箱內(nèi)部達到百級潔凈度。
控溫精準(zhǔn):使用進口溫度控制器,控溫精度 0.3 級,溫度分辨率 ±0.1℃,采用 PID 智能演算技術(shù),具有自動恒溫、超溫抑制、傳感器斷線警報等功能,溫度波動度可達 ±0.5℃。
溫場均勻:通過合理的風(fēng)道設(shè)計和熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),使烘箱內(nèi)溫度均勻性良好,如 SK 系列在 200℃時溫度均勻性為 ±3℃,300℃時為 ±4℃。
結(jié)構(gòu)合理:外箱體采用 1.2mm 厚度 3A 冷軋鋼板靜電雙面噴塑,內(nèi)膽采用 1.2mm-1.5mm 厚 SUS304# 鏡面潔凈不銹鋼板,防銹耐腐蝕,且易于清潔。絕熱保溫材料使用 100mm 厚 120K 高密度硅酸鋁纖維保溫材料,保溫效果好。
主要技術(shù)參數(shù)
型號及容積:有 SKCOL-2、SKCOL-3、SKCOL-4、SKCOL-5 等型號,內(nèi)容積分別為 180L、270L、480L、980L。
溫度范圍:一般型號的溫度范圍為 + 60℃-+300℃,可滿足多種半導(dǎo)體封裝工藝的溫度需求。
電源與功率:電源為 380V 50HZ,功率根據(jù)型號不同在 7.5KW-17KW 之間。
安全保護:具備輸入斷線檢測、上限溫度過熱報警、蜂鳴器報警、電機溫度保護開關(guān)、溫度保險絲、獨立防止溫度過升裝置等多種安全保護功能。
應(yīng)用領(lǐng)域
廣泛應(yīng)用于精密電子制造,半導(dǎo)體晶圓制造,大規(guī)模集成電路,生物制造、潔凈實驗室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域,尤其適用于半導(dǎo)體晶圓封裝中 PI/BCB 膠固化等需要無塵無氧環(huán)境的工藝。
外觀及配件
烘箱外觀采用符合國際審美觀的標(biāo)準(zhǔn)化整體式結(jié)構(gòu)箱體,簡潔大方。標(biāo)配隔板,如 SK 系列標(biāo)配 2 塊隔板,隔板承載為 30KG,還可根據(jù)需求選購程序溫控儀、觸摸屏、三色報警燈、計時器等配件。
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型號
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SKCOL-2
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SKCOL-3
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SKCOL-4
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SKCOL-5
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潔凈度
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Class 100 百級無塵潔凈烘箱
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電源
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380V 50HZ
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功率
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7.5 KW
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10.5 KW
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11 KW
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17 KW
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工作環(huán)境溫度
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5℃ - 35℃
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性 能 |
溫度范圍
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+60℃ - +300℃
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溫度波動度
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±0.5℃
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溫度均勻性
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200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
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升溫時間
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40分鐘以內(nèi) (室溫-300℃)
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結(jié) 構(gòu) |
外殼
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防銹處理冷軋鋼板 內(nèi)外表面靜電噴塑處理
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內(nèi)膽
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SUS304 優(yōu)質(zhì)不銹鋼
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隔熱材料
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玻璃棉
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加熱器
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覆套式電熱器
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進氣口
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6 MM
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出氣口
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5 MM 自動開啟排風(fēng)閥門
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溫度控 制系統(tǒng) |
調(diào)節(jié)方式
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PID 控制方式
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運轉(zhuǎn)方式
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定值運轉(zhuǎn) 程序運轉(zhuǎn)
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設(shè)定范圍
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0 ℃ - 300 ℃
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設(shè)定方式
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數(shù)字式
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顯示方式
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LED數(shù)字顯示 觸摸屏顯示
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傳感元件
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K型熱電偶
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安全保護
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輸入斷線檢測功能 上限溫度過熱報警 蜂鳴器報警 自行診斷
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定時功能
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0.1 - 999.9 H
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安全裝置
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電機溫度保護開關(guān) 溫度保險絲 獨立防止溫度過升裝置
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隔板承載
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30 KG
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內(nèi)容積
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180 L
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270 L
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480 L
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980 L
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重量
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260 KG
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320 KG
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450 KG
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730 KG
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內(nèi)部尺寸 mm
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W600 H600 D500
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W600 H900 D500
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W800 H1000 D600
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W1400 H1000 D700
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外部尺寸 mm
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W950 H1510 D855
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W950 H1810 D855
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W1290 H1790 D955
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W1950 H1790 D1055
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配件
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隔板
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2 PCS
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說明書
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1 冊
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選購件
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程序溫控儀 觸摸屏 三色報警燈 計時器等
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